精密半导体设备直线导轨的运行参数及运行精度知识汇总

深圳宏诚精密半导体设备直线导轨的运行参数及运行精度知识汇总

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要确定深圳宏诚精密半导体设备直线导轨面的磨损程度，必须对导轨面进行精度检查。深圳宏诚精密半导体设备直线导轨的基本精度主要垂直平面内的直线度误差，水平面内的直线度误差的垂直平面内的平行度误差三项内容。导轨在垂直平面内和水平面内的直线度误差，以及两条导轨在垂直平面内的平行度误差，都直接影响着被加工零件的几何间精度，其中，导轨在垂直平面内的直线度误差是机械设备各项精度的基础，其误差值的大小决定了溜板在运动过程中的起伏状态以及溜板与导轨的接触情况。

1、测量深圳宏诚精密半导体设备直线导轨直线度误差的基本原则

（1）直线度误差的测量基准可以任意选择，而评定基准应符合最小条件的原则。这就是说，测量导轨精度时，必须用两条平行的理想直线包容住被测导轨的实际轮廓，并使此理想直线间的距高为最小。则这两条被称为导轨包容线的理想直线间的距离，就是被测导轨的直线度误差。

（2）无论评定基准怎样转换发明奖计量方向始终不变的原则。这个原则是测量读数所反映的计量方向始终应垂直于测量基准，采用两包容线之间的坐标距离计量，不应因评定基准发生转换，造成评定基准之间产生微小倾斜而改变方向。

（3）对深圳宏诚精密半导体设备直线导轨只做等节距的若干档后，用水平仪或者其他精密测角仪器借助专用桥板，使其支撑点首尾相接，沿测量方向移动，分别测量出各档相对水平仪上，所选定的零位（测量基准，为水平线）的倾斜角。从而就可换算成相邻间的高度差。各等距有限点间相对高度差值的综合结果就体现了被测导轨的曲线的起伏变化状况，用水平仪进行等节距有限点测量导轨的方法。

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